応用物理
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大気圧下におけるマイクロ波低温プラズマの発生とその応用
ぺロブスカイト型複合酸化物の役割
杉山 和夫
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1994 年 63 巻 6 号 p. 588-591

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抄録

大気圧下におけるマイクロ波低温プラズマの発生法とその応用に関する最近の研究について紹介する. La0.8Sr0.2CoO3のようなべロブスカイト型複合酸化物は,アルゴシガスの流通下でマイクロ波の中にさらされると赤みを帯びた低温発光を生ずる.この現象は導電性と耐熱性を兼ね備えた物質に特有のものであり,種々の酸化物で確認できた.アルゴンと各種ガスとの混合プラズマの発生も容易であり;プラスチックの表面改質や高い供給速度における-酸化窒素の分解反応に有効であった.

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© 社団法人 応用物理学会
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