応用物理
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中エネルギーイオン散乱法を用いた表面界面研究
越川 孝範安江 常夫
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1995 年 64 巻 5 号 p. 427-437

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抄録

入射エネルギーが数十から数百keVの中エネルギーイオン散乱法(MEIS)は非破壊かつ深さ方向に高分解能で構造解析や濃度分布の測定が可能であるため,表面や界面の研究にとって非常に有力な測定法として注目されている.最近では1原子層オーダーの深さ方向分解能での測定も可能になり,詳細な表面構造の解析が行われている.ここではいくつかの測定例を示しながら,最近の結果を総合的に解説を行う.

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© 社団法人 応用物理学会
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