(株)日立製作所中央研究所
1996 年 65 巻 10 号 p. 1014-1023
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非晶質シリコンを用いた薄膜トランジスタ (TFT) とその液晶ディスプレイへの応用について述べる.まず,TFT,液晶セル,およびこれらの組合せからなるTFT液晶ディスプレイについてその現状を概説する.ついで,大型化,高精細化に向うディスプレイパネルの今後を展望し,課題を抽出する.これらの課題をクリアするための方策としてTFTのスケーリングを提唱する.スケーリングの究極形態として画素に蓄積容量を装荷しない無装荷画素の可能性を指摘する.
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