ウルトラクリーンプロセスと薄膜磁気記録媒体-ハードディスクを例として
1996 年 65 巻 12 号 p. 1218-1228
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1996 年 65 巻 12 号 p. 1218-1228
清浄なスパッタリング雰囲気を実現したUC (Ultra Ciean) プロセスによりCoNiCrおよびCoCrTa系材料の薄膜磁気記録媒体を作製した.その結果, Crの粒界偏析構造などの微細組織の制御が可能となり,磁性粒間の交換相互作用が低減化され,記録媒体の高保磁力化を達成した.微細構造をよく制御した状態で,磁性結晶粒径の低減化を実現し,その結果媒体S/Nが改善されることを見出した.将来の超高密度薄膜磁気記録媒体の実現に向けた本プロセスの有用性を明らかにした.
