反応性プラズマ素過程研究の最近の進展
1996 年 65 巻 6 号 p. 568-577
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1996 年 65 巻 6 号 p. 568-577
原子力および放射線の利用,宇宙科学,新エネルギーの研究,地球環境の研究などの科学技術の変遷の中には,常に原子・分子過程研究へ立ち返ることが求められてきた.そして今,機能性薄膜の創製や超LSIの微細加工に活用されているプロセス用低温プラズマ技術も同様である.プラズマを原子・分子過程で捉らえることは,プラズマのより深い理解へつながる.ここでは,プラズマ中の電子・イオン・フリーラジカル・励起原子・分子・光子によるさまざまな反応素過程を概観する.特に電子分子衝突過程と原子衝突を伴うエネルギー移動過程を中心に,その断面積また反応速度定数の測定法を紹介し,系統的データの必要性を強調したい.
