SOIデバイスの展望
1997 年 66 巻 11 号 p. 1191-1198
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1997 年 66 巻 11 号 p. 1191-1198
SOI (Silicon on lnsulator)の汎用CMOS LSI分野での実角化が近づいている.LSIの低消費電力化・高速化の要求に応えようとするものである.本報告では,この要求に適用可能なCMOS用薄膜SOI基板について概説し,SOIデバイスの特徴や,なぜSOIで低消費電力化や高速化が可能なのかを解説する.SOIデバイスの問題点とその解決策にっいても述べる.さらに,LSIへの適用例に基づいて,SOIの特徴がどのように現れ,また,どのように活用され待るのかを概説し,今後の課題についても触れる.
