LSI製造プロセス評価素子による測定データのデータベース設計と可視化技術
1997 年 66 巻 5 号 p. 462-466
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1997 年 66 巻 5 号 p. 462-466
LSIプロセスにおける歩留まり改善の効率化を図るため,プロセス評価素子 (TEG) の測定データとプロセスデータおよびLSI測定デ-タの管理ならびに解析を行うシステムの開発を進めている.このようなシステムにおいては大量データの特徴の把握を容易にするためいろいろな図表を用いたヂータの要約という形のデータの可視化を行う.システムの性能を十分発揮するためにはヂータの可視化の機能とともに大量データを一元管理するためのデータベース (DB) の構造と処理速度が重要である.本稿ではTEG測定データに関する部分についてDBの設計とデータの可視化を中心に紹介する.
