応用物理
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大気圧非平衡プラズマの有害ガス処理への適用
杤久保 文嘉渡辺 恒雄
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1997 年 66 巻 6 号 p. 576-579

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抄録

気体放電や電子ビームにより生成される大気圧非平衡プラズマは,窒素酸化物,硫黄酸化物,揮発性有機溶剤などの有書ガスを処理する上で,有望なツールである.案用化の上で問題となっているのは,エネルギー効率の向上とプラズマ処理後の安全な2次生成物への変換である.そのためには,放電反応機構を解明し,制御する必要がある.ここでは,大気圧非平衡プラズマによる有害ガス除去の一例として,放電による窒素酸化物除去に関する話題を中心に,放電プラズマの診断とシミュレーション,およびブレークスルーとして期待される技術について述べる.

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© 社団法人 応用物理学会
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