応用物理
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マイクロ波を用いた大口径プラズマ源の開発
河合 良信
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1997 年 66 巻 6 号 p. 584-588

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抄録

半導体プロセスに必要とされている大口径プラズマ源としZECRプラズマ生成法を取り上げ,これまでのレビューと問題点を指摘する.さらに,プラズマ中の電磁波伝播がECRプラズマの一様化のキーであることを説明する.

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© 社団法人 応用物理学会
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