スパッタ法によるシリコン基板上へのPb(Zr,Ti)O<sub>3</sub>(PZT)薄膜のヘテロエピタキシャル成長

応用物理

Online ISSN : 2188-2290
Print ISSN : 0369-8009

スパッタ法によるシリコン基板上へのPb(Zr,Ti)O₃(PZT)薄膜のヘテロエピタキシャル成長

堀田將

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ジャーナルフリー

1998 年 67 巻 11 号 p. 1303-1304

DOI https://doi.org/10.11470/oubutsu1932.67.1303

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