抄録
アモルファス半導体の構造について,まず,その表現方法,熱力学的状態を路記した.また,平均配位数を用いて構造安定性を議論し,アモルファス半導体を分類した.次に,応用上,最も重要な水素化アモルファスシリコン(a-Si:H)を取り上げ,その構造について,水素と欠陥を中心にしてややくわしく議論した.最後に,電子物性と構造の関係を直観的に整理し,概略を表に示した.
© 社団法人 応用物理学会
アモルファス半導体の構造について,まず,その表現方法,熱力学的状態を路記した.また,平均配位数を用いて構造安定性を議論し,アモルファス半導体を分類した.次に,応用上,最も重要な水素化アモルファスシリコン(a-Si:H)を取り上げ,その構造について,水素と欠陥を中心にしてややくわしく議論した.最後に,電子物性と構造の関係を直観的に整理し,概略を表に示した.