STM/AFMナノ酸化プロセスによる単電子トランジスタ

抄録

STMの探針,あるいはAFMの導電性力ンチレバーを陰極として用い,大気中の水分を介して金属の表面を局部的に陽極酸化させる「STM/AFMナノ酸化プロセス」を用いて,プレ-ナー構遊の単一電子索子を作成する手法について紹介する.本手法を用いると単一電子素子のトンネル容量力MO^-19Fのオ.ダーになり,室温動作が可能となる.また,基板に原子オ.ダ-で平坦なアルミナ (α-AI₂0₃) を用いることにより, STM/AFMナノ酸化プロセスの信頼性が向上することについても述べる.