熱プラズマを用いた材料プロセスの新しい展開
1998 年 67 巻 2 号 p. 181-185
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1998 年 67 巻 2 号 p. 181-185
高温・高速.高活性な熱プラズマ流であるプラズマジェットを取りあげ,その材料プロセスへの応用について述べる.まず,広い圧力範囲にわたって安定なプラズマジェットの生成・制御法を紹介する.次に,プラズマジェット・を減庄下で用いた材料プロセスとしてダイヤモンド膜の高速會成,ニコ.一セラミックス合成,傾斜構造膜の作製を紹介し,その基本的な考え方を述べる.
