東京大学大規模集積システム設計教育研究センター. 東京大学生産技術研究所第3部.
1998 年 67 巻 5 号 p. 571-575
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大学院レベルを対象として,学部の教科書には通常書かれていない微細MOSFEITの勤作原理についてわかりやすく解説した.特に,実際のVLSげバィスで問題となっている短チャネル効果によるしきい値電圧の低下と,キャリアの速度飽和によるドレイン電流の減少について多少詳細に解説した.
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