抄録
移動体通信システムへのSAWフィルターの応用が急速に進み,現在も多くの課題が礒究されている.本稿では,移動体通信機用SAWフィルターの基礎事項として動作機構(動作原理),圧電体基板材料,高周波化に関連する微細電極形成および小型化のためのパッケージ搭載技術の現状と技術動向などについて解説する.基板材料では,特に準マイクロ波帯に適する 「ZnO薄膜/サファイア基板」について詳述する.
© 社団法人 応用物理学会
移動体通信システムへのSAWフィルターの応用が急速に進み,現在も多くの課題が礒究されている.本稿では,移動体通信機用SAWフィルターの基礎事項として動作機構(動作原理),圧電体基板材料,高周波化に関連する微細電極形成および小型化のためのパッケージ搭載技術の現状と技術動向などについて解説する.基板材料では,特に準マイクロ波帯に適する 「ZnO薄膜/サファイア基板」について詳述する.