応用物理
Online ISSN : 2188-2290
Print ISSN : 0369-8009
原子拡散のミクロな機構
押山 淳
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1999 年 68 巻 10 号 p. 1167-1170

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抄録

原子拡散のミクロな機構について解説する.特にSiバルク申の自己拡散・不純物拡散, Si表面でのアドアトム拡散を例にとり,第一原理謙算からの理解の現状を紹介する.

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© 社団法人 応用物理学会
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