原子拡散のミクロな機構

応用物理

Online ISSN : 2188-2290
Print ISSN : 0369-8009

原子拡散のミクロな機構

押山淳

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ジャーナルフリー

1999 年 68 巻 10 号 p. 1167-1170

DOI https://doi.org/10.11470/oubutsu1932.68.1167

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抄録

原子拡散のミクロな機構について解説する.特にSiバルク申の自己拡散・不純物拡散, Si表面でのアドアトム拡散を例にとり,第一原理謙算からの理解の現状を紹介する.

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