応用物理
Online ISSN : 2188-2290
Print ISSN : 0369-8009
放射光X線異常分散を利用した薄膜構造研究
水木 純一郎木村 英和
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1999 年 68 巻 11 号 p. 1271-1274

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抄録

放射光X線の特長の一つである波長選択性を利用した,新しい局所構造解析法について説明する.これは吸収分光法と回折法とを組み含わせたもので, “DAFS”とよばれている.これをスパッタ法で作成されたSrTiO3薄膜試料の構造冊究に適用することにより,基板界藏に異相の存在が示唆された.

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© 社団法人 応用物理学会
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