東京工業大学大学院総合理工学研究科
1999 年 68 巻 4 号 p. 431-434
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近接場光学技術の微細加工への応用について述べた.その例としてナノ寸法物質の堆積とその将来展望、さらには加工の応用としての超高密度光メモリーの実現のための問題点とその解決策の現状について概説した.
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