応用物理
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マイクロメカニカル光デバイス
藤田 博之年吉 洋
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2000 年 69 巻 11 号 p. 1274-1284

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抄録

近年,加速度センサーやディスプレイなど多くの分野でマイクロマシンの実用化が急速に進んでいる.特に,マイクロメカニカル光デバイスは,爆発的に増大する情報通信を支える光通信ネットワークや,超高密度データ記録装置など,市場から強い要望がある分野で,欠かすことのできないキーコンポーネントや革新的な高機能集積システムを提供できるため,最も有望なものの一つと考えられる.マイクロマシン技術の現状について,立体マイクロ加工技術,マイクロアクチュエーターの進歩を概観した後,技術的観点からマイクロマシンが光技術にどのようなインパクトがあるかを論じた.次に,最近の研究成果の中から,マイクロ光スイッチ,空間光変調器,光走査器の例を紹介した.

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© 社団法人 応用物理学会
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