フリップチップガンダイオード
2000 年 69 巻 2 号 p. 182-185
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2000 年 69 巻 2 号 p. 182-185
ガンダイオードは良好な位相雑音や1/ƒノイズ特性をもつことから,ミリ波帯の有用なパワーソースとして期待されている.ミリ波帯素子の高性能化と低コスト化をめざして提案・開発した,ベアチップの形態で平面回路基板上に搭載できる新構造のフリップチップガンダイオードを紹介する.マルチメサの素子構造と熱伝導率の高い窒化アルミニウム (AIN) 基板を用いることにより素子の動作温度の上昇を抑制し,発振動作のための熱的制限を解決した.この素子を用いたプレーナー構造ガン発振器はマイク環ストリップ共振器による単純な回路で構成され,高い発振出力と低位相雑音という優れた特徴を有する.本稿では本素子の原理,応用例についても報告する.
