応用物理
Online ISSN : 2188-2290
Print ISSN : 0369-8009
装置・手法としての可能性と限界
富取 正彦新井 豊子
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2000 年 69 巻 4 号 p. 435-438

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抄録

21世紀へ向けて,ナノスケールの科学・技術の基礎となっていくであろう走査型トンネル顕微鏡とその関連技術の基礎を装置作製の立場から解説する.単なる入門編ではなく,技術的ノウハウを織り込みながら,問題点・可能性などを指摘する.

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© 社団法人 応用物理学会
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