高規則性陽極酸化ポーラスアルミナの作製とナノファブリケーションへの応用

抄録

自己組織化的に規則細孔構造を形成する陽極酸化ポーラスアルミナを用いるナノファブリーケーションプロセスについて紹介した.作製条件の最適化,あるいは前処理により高度に規則化した細孔配列を有する陽極酸化アルミナを作製した.形成された規則ボーラス構造をもとに,種々の転写プロセスを組み合わせることで,さまざまなナノ構造を得ることが可能となった.