透過型フォトダイオ-ドによる変位計測

抄録

マイクロマシニング技術によって,入射した光の一部だけを検出し残りは透過させるフォトダイオードが製作できる.フォトダイオードに入射した光は吸収されるのみであった従来の光学系に対して,フォトダイオード中を光が通ってさらに下流に伝搬する新しい光学系が設計できる.この働きを利用した新しい計測方法やセンサーの構成について三つの例を紹介する.