新機能材料としての非晶質物質の可能性
2000 年 69 巻 7 号 p. 782-791
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2000 年 69 巻 7 号 p. 782-791
まずこの約30年間,非晶質物質の基礎と応用の両面から大切な役割を果たしてきた水素化a-Si (PECVD a-Si: HまたはGD a-Si) について概説する.なぜa-Si: Hにこだわって仕事をしたかについて述べる.その後で一例として,最近創製を手がけ大変興味のあるアモルファス窒化炭素 (a-CNx) 半導体について述べ,今後のアモルファス半導体の研究について考えてみたい.
