探針集光型トンネル電子発光顕微鏡による半導体ナノメートル領域評価

抄録

トンネル電流の注入と同時にナノメートルサイズの微小領域からの電流励起ルミネッセンスを高効率に集光する導電集光(eT)探針を開発した.OT探針を案装した探針集光型トンネル電子ルミネツセンス(TL)顕微鏡を構成し,半導体のナノメ-トルサイズ領域の実空間・多機能評価へ適用した.