プラズマによる薄膜たい積と表面改質

抄録

現在,プラズマを用いた薄膜たい積技術や表面改質技術が,いろいろな工業分野で用いられている.代表的なイオンプレーティング,スパッタリング,プラズマOVD,プラズマ表面改質法を取り上げ,この技術の原理.特徴など,その基礎について説明した.

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