高周波測定の原理と実際.—ネットワークアナライザーを中心として—
2001 年 70 巻 10 号 p. 1218-1222
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2001 年 70 巻 10 号 p. 1218-1222
反射・透過係数(Sパラメータ-)を測定することにより被測定物の高周波特性を評価するネットワークアナライザーの測定原理と,その電子デバイス特性評価への応用について述べる.はじめに,ネットワークアナライザーの基本的な構成と動作原理,校正方法について述べる.次に,ネットワークアナライザーを用いた1ポートおよび2ポートデバイス測定の例として,それぞれ,薄膜キャパシターの容量測定およびトランジスタの電流利得遷移周波数(ƒT)測定について述べる.
