プラズマドーピング技術

抄録

プラズマのもつ二つの特徴を生かした応用を提案する.一つ目は低エネルギー.微細な半導体LSIの製造に最適のエネルギーを発生するプラズマにより,コストパフオーマンスの高いドーピング技術を実現する.二つ目は等方性.平面ではない,いろいろな三次元的形状をした物質の表面に異なる物性の材料を強固に付着させ,特性を改善する.