応用物理
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反応性プラズマの物理と化学
橘 邦英
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2001 年 70 巻 3 号 p. 337-343

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抄録

材料プロセスに用いられる反応性ガスの低圧プラズマ中では,電子やイオン,中性ラジカルなどが気相中や器壁・基板の表面でさまざまな物理的,化学的な過程を引き起こし,その結果として,薄膜形成,エッチング,表面改質などのプロセスが進行する.プロセスの再現性を確保して積極的に制御するためには,そのようなプラズマによって生成された非平衡反応場の中身を十分に理解することが必要となる.本講座の最初に,反応性プラズマ中での複雑な過程を,気相反応,輸送,表面反応に分類して基礎知識を整理する.

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© 社団法人 応用物理学会
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