長崎大学工学部電気電子工学科
2001 年 70 巻 5 号 p. 572-577
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機能性薄膜形成やエッチングなどのプラズマを用いたドライブ圓セスの応用範囲は,エレクトロニクス分野をはじめ機械,材料,化学,さらには生理・医学分野へと広がりを見せている.本稿では,近年とみに要請の高い低気圧高速プロセス用の高密度プラズマ源としての有磁場プラズマに焦点を絞つて解説する.磁化プラズマにおけるマグネトロン効果,電子サイクロトロン共鳴,ヘリコン波,磁気中性線放電などの多彩なプラズマ現象の利用が,高度なプ日セスの実現を可能にした.
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