応用物理
Online ISSN : 2188-2290
Print ISSN : 0369-8009
プロセスプラズマの分光計測
内野 喜一郎
著者情報
ジャーナル フリー

2001 年 70 巻 7 号 p. 864-867

詳細
抄録

プロセスプラズマのモニターとして発光分光法は,簡単でありながらさまざまの情報が得られるため,最も広く用いられている.最近,微量の希ガスをトレーサーとして放電ガスに添加することで,発光分光法により粒子密度や電子のエネルギー分布関数を定量的に求める方法が開発されてきている.本稿では,その概要と現状について述べる.また,これと関連したレーザー分光計測法として,レーザー吸収法,レーザー誘起蛍光法およびレーザートムソン散乱法の概要についても述べる.

著者関連情報
© 社団法人 応用物理学会
前の記事 次の記事
feedback
Top