応用物理
Online ISSN : 2188-2290
Print ISSN : 0369-8009
STM・AFM
内田 裕久
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2002 年 71 巻 10 号 p. 1277-1285

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抄録

走査トンネル顕微鏡(STM)と原子閾力顕微鏡(AFM)について紹介する.ここでは動作原理,トンネル過程,走査トンネル分光法(STS)などの墓礎的な事項について説明する.STMで得られた像を解釈するため,分子軌道法によるシミュレーションの結果と合わせて解析した例を紹介する.STMとAFMによる表面の観察ではプロープが重要であり,プローブ先端の構造が像に与える影響について説明する.さらにSTMの測定モードと装置について述べる.

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© 社団法人 応用物理学会
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