応用物理
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透過型無収差位相差電子顕微鏡
高井 義造
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2002 年 71 巻 4 号 p. 408-414

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抄録

透過型電子顕微鏡における無収差位相差観察法は,局所領域の原子構造を直接的に決定できる能力をもっている.われわれは,その有力な手法の一つとして焦点位置変調画像処理を用いた透過型無収差位相差電子顕微鏡を開発した.この新しい顕微鏡では,焦点位置が浮遊型加速電源を用いた加速電圧変調により高速かつ正確に制御ざれており, 1ビデオフィールド内に撮影した2枚の画像間の加減算を実行できる高速画像処理CCDビデオカメラと組み合わせることで,実時間での無収差位相差電子顕微鏡観察が実現される.本報告では,無収差位相差電子顕微鏡の開発とこの電子顕微鏡を用いて表面原子構造や単原子鎖の挙動を動的に観察した結果について解説する.

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© 社団法人 応用物理学会
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