応用物理
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放射光光源を利用したX線光電子顕微鏡 (XPEEM) の進展
田口 雅美大岩 烈
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2002 年 71 巻 4 号 p. 415-420

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抄録

放射光,特に軟X線を励起源に用いた光電子顕微鏡の現状と可能性について概観する.ここでは,基本的な光電子顕微鏡の原理から始まり,エネルギーイメージングフィルターを備え,局所領域の元素マップが測定可能な装置に関して,その性能とアプリケーションについて紹介する.また,偏光を用いて,磁性体などの磁気ドメインの分布などを測定した例に関しても紹介し,光電子顕微鏡の将来への展望を示す.

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© 社団法人 応用物理学会
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