応用物理
Online ISSN : 2188-2290
Print ISSN : 0369-8009
電子顕微鏡 (I)
青山 隆
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2002 年 71 巻 5 号 p. 583-587

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抄録

透過型電子顕微鏡 (TEM) の基本的な構成と, TEM像,および電子回折図形の基本事項について述べる. TEM像においては,試料中の重い元素の領域ほど電子線を強く散乱させるため,明視野像では暗く見え,結晶中に転位が存在すると,格子面に対する電子の入射角が変化するため,転位領域の明暗変化として観察される.電子線の波長は格子間隔に比べて短いため,ある格子面を観察するには,この面に平行に電子線を入射させることにより,その格子面から反射が観察され,格子間隔が求まる.

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© 社団法人 応用物理学会
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