総論

抄録

半導体のシミュレーション技術の基礎の導入部分として,シミュレーション技術の概要を紹介する.シミュレーション技術とは何かを概説した後に,産業界での使用目的,効果に関して説明する.次に,シミュレーション精度に関する問題点を,モデルのレベル,および合わせ込みとの関連で説明する.最後に,今後のシミュレーションの課題に関して,ロードマップに従って概説する.