応用物理
Online ISSN : 2188-2290
Print ISSN : 0369-8009
総論
西 謙二
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2002 年 71 巻 5 号 p. 588-592

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抄録

半導体のシミュレーション技術の基礎の導入部分として,シミュレーション技術の概要を紹介する.シミュレーション技術とは何かを概説した後に,産業界での使用目的,効果に関して説明する.次に,シミュレーション精度に関する問題点を,モデルのレベル,および合わせ込みとの関連で説明する.最後に,今後のシミュレーションの課題に関して,ロードマップに従って概説する.

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© 社団法人 応用物理学会
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