デバイス・シミュレーションとその物理

抄録

広く用いられているデバイス・シミュレーションの基本的構成や種類,そして基本方程式系とそれらの意味について,物理的な視点に立って解説する.さらに,モンテカルロ法の基本的な考え方と季法を簡単に述べたうえで,キャリア輸送の墓礎であるボルツマン輸送方程式との関係についても解説する.