日立製作所中央研究所
2002 年 71 巻 8 号 p. 970-974
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ナノメートルサイズ構造を利用した素子として単一電子素子,およびこれを応用した素子の研究の流れを概観する.さらにナノドット記憶ノードの高信頼不揮発性メモリーおよび超低リークの極薄多結晶シリコントランジスタを利用したRAMについて紹介する.
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