デバイス・シミュレーション(シリコン系)

抄録

シリ調ンデバイスにおけるデバイス・シミュレーション技術に関して概説する.まず,デバイス・シミュレーションで用いられているモデルと方程式系に関して説明する.次に,微細デバイスで必要となるシミュレーション技術と未踏デバイスに向けたシミュレーシ繋ンの試みを紹介する.