(株)東芝LSI基盤技術ラボラトリー
2002 年 71 巻 9 号 p. 1161-1164
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シリ調ンデバイスにおけるデバイス・シミュレーション技術に関して概説する.まず,デバイス・シミュレーションで用いられているモデルと方程式系に関して説明する.次に,微細デバイスで必要となるシミュレーション技術と未踏デバイスに向けたシミュレーシ繋ンの試みを紹介する.
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