ハロゲンフリーチタン酸水溶液を用いた低環境負荷プロセスによる PZT 薄膜の作製

抄録

チタンアルコキシド（TIP）と乳酸（Lac）及び水を反応させることで合成した無色透明なチタン酸水溶液（TIP-Lac）が微粒子の分散剤として働く、さらにこのチタン酸水溶液と酢酸ジルコニウム、酢酸鉛を用いてチタン酸ジルコン酸鉛(PZT、PbZrO3-PbTiO3) 前駆体水溶液を調製し、PZTの低環境負荷合成の可能性を報告した。本研究ではこのPZT前駆体水溶液から薄膜の作製を検討し、誘電特性を評価した。