チタニアゲル膜の結晶化に伴う面内応力変化

抄録

　演者らはこれまでに、基板上にコーティングしたゲル膜の昇温過程での面内応力変化を、応力のその場測定により調べてきた。昇温過程でゲル膜の緻密化にともなって面内引張応力が発生するが、チタニア薄膜では、結晶化にともなって応力が減少する。本研究では、結晶化に伴って応力が減少する原因を調べた。