プラズマ分光を用いたパルス細線放電法におけるＡｌＮ超微粒子合成メカニズム

抄録

高時間分解能プラズマ分光により、パルス細線放電における窒化アルミニウム超微粒子合成のメカニズムを解析した。窒素雰囲気または窒素／アンモニア混合雰囲気でアルミニウム細線にパルス大電流を流して超微粒子を合成した。Ｘ線回折により、アンモニア濃度が高くなるにつれて、アルミニウム窒化率が上昇することが確認された。放電開始から５μ秒経過以後では、アンモニア濃度に対して観測されたスペクトルに大きな変化は認められなかった。放電開始から５μ秒以内のスペクトルを比較すると、アンモニア濃度が低くなるにつれて、窒素ラジカルに起因する輝線スペクトルの強度が短時間で減衰していることが確認された。