強誘電体薄膜のストレスエンジニアリング

抄録

強誘電体薄膜の電気特性は組成、配向性あるいは残留応力などのいくつかの重要な因子に大きな影響を受ける。特に、残留応力は強誘電体薄膜の圧電特性や強誘電特性に大きな影響がある。本研究では、強誘電体薄膜のストレスエンジニアリングについてそのコンセプトと戦略を述べる。