日本セラミックス協会 年会・秋季シンポジウム 講演予稿集
第24回秋季シンポジウム
セッションID: 3R16
会議情報

天然層状黒雲母ターゲットを用いたPLD法によるc軸配向性雲母薄膜の合成と評価
*中井 裕和タン ゴオン宮宅 ゆみ子土嶺 信男金子 智吉本 護
著者情報
キーワード: 雲母, 酸化物, 薄膜
会議録・要旨集 フリー

詳細
抄録
天然層状ケイ酸塩鉱物である雲母(マイカ)は弾力性に富み、高い絶縁性、耐熱性を有しており、かつ人体に有害な元素を含んでいないため家庭用の電気器具の絶縁材料やガラス繊維等への複合材料といった広い範囲で産業利用されている。また、層状構造を有する新機能性材料の可能性として高温超伝導や高熱電特性などが期待される。しかし、層状構造を有する雲母は薄膜化により電子デバイスなどへの応用が期待されるが薄膜化の研究はこれまでほとんど行われていなかった。本研究では、天然層状ケイ酸塩鉱物を利用した新規電子デバイス材料開発の可能性探求の第一歩として、パルスレーザーアブレーション成膜法(PLD法)による雲母の薄膜作成の可能性を検討し、世界で初めてc軸配向性雲母薄膜の合成に成功した。講演では合成プロセスと種々の評価を報告する。
著者関連情報
©  日本セラミックス協会 2011
前の記事 次の記事
feedback
Top