2013 年 76 巻 4 号 p. 305-317
量産規模のガス中蒸発法により,個々に独立分散している,金,銀,銅,及び,ITOのナノ粒子が製造されている.ガス中蒸発法では,生成された粒子は生成直後に有機層に被覆され,個々に独立分散した状態で有機溶剤中に分散している。ナノ粒子のサイズは10 nm以下である.このナノ粒子が分散しているインクはナノメタルインクと呼ばれ,インクジェット印刷に適した材料である.ナノメタルインクを用いたインクジェット印刷はスパッタ,ホトリゾグラフィーによる工程を代替するものと期待されている.ナノメタルインクによる薄膜の特性,インクジェットプロセスのスピード,コスト,及び,その応用分野についても取り上げる.