イオンスパッタによる探針作製手法の開発

抄録

「ダイヤモンド粒子をマスク材としてスパッタを行う」というイオンシャドー法は、多種の材質に対し尖鋭な針の作製が可能であり、ナノ加工、STM探針等への応用が考えられる。針形状はスパッタ時間に大きく依存する。本研究ではスパッタ過程のモニタリングを行うことにより、尖鋭な探針形状を再現性よく作製することに成功した。また、複合材からなる探針作製についても言及する。