抄録
近年のめざましい技術の進歩に伴い，機械部品には高精度なものが要求されている。そのなかで，ポリマー材料は多種多様な機能を有することから，高密度メモリの材料として，また，マイクロデバイス用の部品として期待されており，ポリマーのナノスケール加工法の開発は非常に重要になってきている。本発表ではポリマーのナノスケール加工に関して，マイクロピペットプローブを有するSPMによりピペットプローブに注入された溶液を用いたポリマー表面の化学的加工法について述べる。加工した表面はAFMによるスクラッチ加工と異なり、加工粉が生じない。この方法を用いたナノスケール加工特性を示す。
