ナノ秒パルスレーザ加工が材料表面近傍に及ぼす影響

栗田 恒雄; 小松崎 和久; 服部 光郎

doi:10.11522/pscjspe.2003S.0.496.0

2003年度精密工学会春季大会

セッションID: I74

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2003S.0.496.0

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主催: 社団法人精密工学会

レーザ加工技術（4）

ナノ秒パルスレーザ加工が材料表面近傍に及ぼす影響

*栗田恒雄, 小松崎和久, 服部光郎

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キーワード: レーザ, セラミック, 微細加工, 熱影響層

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抄録

セラミック材料を対象としてナノ秒パルスレーザ微細表面加工を行ったときの材料表面が深さ方向に対してどのように変化しているかを明らかにすることを目的として実験を行った．レーザ加工表面を深さ方向に対して約2°の斜め無歪み研磨を行い，研磨表面を測定することにより深さ方向分布を求めた．応力解析，元素分析，硬さ試験等を行った結果から，加工影響層は窒化物セラミックでは厚くなる傾向にある．

責任著者(Corresponding author)

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