Sawyerモータの精密位置決めに関する研究 サーフェスエンコーダを用いた位置決めシステムの提案

田野 誠; 高 偉; 清野 慧; 冨田 良幸; 佐々木 卓也; 牧野 健一; 森田 洋; 平田 徹

doi:10.11522/pscjspe.2004A.0.500.0

2004年度精密工学会秋季大会

セッションID: K13

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2004A.0.500.0

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主催: 社団法人精密工学会

精密・超精密位置決め（3）

Sawyerモータの精密位置決めに関する研究

サーフェスエンコーダを用いた位置決めシステムの提案

*田野誠, 高偉, 清野慧, 冨田良幸, 佐々木卓也, 牧野健一, 森田洋, 平田徹

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キーワード: ソーヤモータ, サーフェスエンコーダ, 精密位置決め

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抄録

多自由度平面モータであるSawyerモータは高速,軽量,ストロークが長いといった長所を持つが,オープンループ駆動時で数十μmと低い位置決め精度が短所として挙げられる.そこで,多自由度計測装置であるサーフェスエンコーダを融合することでSawyerモータの長所を失うことなく,クローズドループ制御を導入したステージシステムを構築することができる.本報では,提案の位置決めシステムについて述べる.

責任著者(Corresponding author)

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