化学吸着単分子膜の撥水効果を利用したマイクロレンズアレイの形成

抄録

　現在マイクロレンズを製作する手法として、リフロー法、イオン拡散法などの様々な手法が考案されている.本研究では化学吸着単分子膜をパターニングする方法を提案した。そして、この膜の撥水性の差を利用して、紫外線硬化剤を用いてレンズの形状を形成した。このとき紫外線硬化剤の滴量を制御することで、レンズの曲率半径の制御を行った。
　さらに、製作したレンズアレイ形状にめっきを施しアレイレンズ形成用金型を製作した。